30万级净化工程

洁净室中的温湿度控制

   洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，临沂净化工程，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，空气净化工程，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，净化工程网，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产适合湿度范围为35—45%。

百级净化单元

FFU英文全称为（Fan Filter Unit），中文为风机过滤机组。 FFU风机滤网机组可模块化连接使用，使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。FFU设有初、两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

经过实地检测，国际品牌普遍难以适应“中国环境因素”，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想；大部分国内低端品牌的工程质量最多只能算是差强人意。近年，净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准，30万级净化工程，并逐步以实地检测数据（之前多依靠行业报告）更真实的体现工程性价比，已经远远超过国际品牌，成为中国FFU的新国际标准企业。

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