厂商 :肇庆市杰瑞洁净流体设备有限公司
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商品详细描述
肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。
当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,镜片专用真空镀膜机,加热40min。
低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,立式真空镀膜机,当指针移动至6.7Pa时,衢州市真空镀膜机,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:
主要分类
主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,立转飞溅真空镀膜机,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
厚度均匀性主要取决于:
1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3. 蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小。
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