镜片真空镀膜机

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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：

由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸汽流中，便获得向下运动的动量，向下飞去，由于射流具有高的流速（约200米/秒），高的蒸汽密度，且扩散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的带走气体分子，因此在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，且在射流界面的两边，被抽气体有很大的浓度差，萝茨高真空镀膜机，正是因为这个浓度差被抽气体能不断的越过界面，扩散进入射流中，镜片真空镀膜机，被带往出口处，无锡市镀膜机，在出口处再由机械泵抽走。 扩散泵的油蒸汽压是决定泵的极限真空的重要因素，因此尽量选用饱和蒸汽压低的泵油，其化学特性要好。 扩散泵不能单独用来抽气，一般要求泵的大出口压强为40帕。扩散泵的抽速决定于一级喷嘴与泵体进气口口径间环形面积的大小，抽速不是一恒定的值，而是随着进气口的压强而变化的，当压强在10-2～10-3帕的时候，扩散泵的抽气速度是最快的，三门真空镀膜机，当压强小于5*10-4帕之后，扩散泵的抽气速度小，几乎没有抽气能力（此时，进气口的压强较高，由于空气的密度较大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻挡空气的反扩散，所以抽速下降）

 

 

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真空镀膜设备存在问题及解决方法：

当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）

2、坩埚被打穿（更换坩埚）

3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）

4、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）

5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃

 

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