爱德华真空泵维修价格

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爱德华iH系列真空泵维修

Edward iH series vacuum pump repair

维修型号：iH80、iH600、iH1000等

     爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商，集工艺实现技术，材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用，已被正面其达到高运行标准。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的高性能，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。

     针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速从80到1800立方米/小时，其中iH1800干泵是专为高排量应用而设计的。

爱德华真空泵维修后的安装要求

安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表，以

保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

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