吸盘碗

吸盘材料和工艺设计

1橡胶类：乙烯基硅橡胶（VMQ）

VMQ由硅氧烷与少量乙烯基硅氧烷共聚而成，乙烯基含量一般在0.1~0.3mol%。乙烯基的引入使其的成品性能，特别是耐老化性能和高温抗压缩变形性能有了很大的改进。对于制造吸盘来说，适用于家庭使用。

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静电吸盘的基本构造和原理（一）华奇密封件

1。种类：基本分为两类。即库仑类和迥斯热背（JR或Johnsen-Rahbek）类。

2。两类吸盘都靠静电荷的同性相吸来固定硅片。

3。吸盘与晶片接触的表面有一层电介质。以前的吸盘用的电介质多为有机材料或阳极氧化层，现在已普遍采用陶瓷。纯电介质做成的吸盘为库仑类，参杂电介质做成的吸盘为迥斯热背类。

4。在吸盘的电介质层中镶嵌着一个直流电极（大小与硅片相当，稍小），用以接通到高压（低流）直流电源。

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