螺杆真空泵厂家

油扩散泵真空系统污染与防治

油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统，其获得真空度范围为1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空

装置，螺杆真空泵厂家，长期运用后，干式螺杆真空泵厂家，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺

过程各种污染物的污染有关，防止的办法是：

（1 ）定期清洗真空室；

（2 ）定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，潍坊螺杆真空泵，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，无油螺杆真空泵厂家，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

　　3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

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