气体管道整改及安装

洁净气体管路施工

       洁净气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并注明管道材质洁净气体管路的材质则依使用的需求进行选择，316L BA管常使用于和芯片接触但不参与过程反应的气体。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。

常用气体管道材质

      北京航星机电工程有限公司，北京气体管道工程，依托于航天系统技术骨干及工程人员组建。主要从事工业、环保、科研院所、航空航天等行业机电安装工程的设计与施工，气体管道，包括气体管道，气体气站，净化，生产线自动化，工业气体管道颜色标识，工业设备安装等在内的成套工程服务。

      针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB，气体管道整改及安装， Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU， Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB， Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器(MFC， Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP， Valve Manifold Panel)进行供应。

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