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万级无尘车间设计装修

    万级无尘车间设计装修洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

（1）墙面施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂 和涂刷涂料后进行。对于送风和回风静压箱空间，暴露表面的钢筋混凝土宜采 用清水混凝土。

（2）瓷板上的孔洞切割吻合，边缘整齐，并应密封。瓷板嵌缝应用添加抑菌剂 的中性密封胶嵌实。涂料墙面所用的涂料应具有耐水、耐磨和耐酸碱特性，有 防霉要求时要在涂料中加入抑菌剂，进行人工施菌培养。

（3）金属夹心板墙内部充填材料应用难燃、不燃材料，不得使用有机材料，吊 挂点、锚固点均应作防腐、防锈处理。金属夹心板不得在现场开洞，金属面与 骨架之间要有导静电措施。

（4）正压洁净室应在金属夹心板正压面用中性密封胶密封缝隙，电子无尘车间成本，当负压洁净室 不能在负压面密封时，应在缝内嵌密封条挤紧，并应在室内面涂密封胶。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，电子无尘车间价格，可提供局部超洁净之空气。

(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)无尘车间洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，电子无尘车间事项，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

(3)无尘车间并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，电子无尘车间，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;即属此类。

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