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微型压力传感器采用压电单晶片结构,并内置前置放大器,通过放大器放大微弱信号并实现阻抗变换,从而使传感器具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测。但与此同时,对于微压传感器精准度的检验这一技术难题,传感器,就迫切需要简便的测量装置测量该类型传感器的性能。
对于微型压力传感器来说,灵敏度和线性度是微型压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器,必需探索出一种微型压力传感器灵敏度和线性度的有效方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效。
传感器在工程机械中应用主要包括三个方面:一是发动机工况的控制;第二是液压系统的控制;第三是工程机械整体性能的控制。而工程机械在柴油发动机使用的传感器有以下几种类型:控制空气流量动片式传感器的喷油机构的位置传感器;压力传感器,包括燃油压力、润油系统机油压力等压力传感器;用于柴油机转速控制的转速传感器;用于测控燃油液面和机油液面的传感器和控制温度的温度传感器。同样在液压传动系统在现代工程机械的传动中占有十分重要的地位,液体压力传感器,它不仅应用在主要的工作机构中,如挖掘机的挖掘机构传动,振动压路机的振动机构,而且在现代工程机械行走系统、转向系统以及一些伺服机构中都大量应用。在液压系统中应用的传感器主要有控制液压油温度的温度传感器;控制液压油压力的压力传感器;控制泄漏量和流量的流量传感器;控制液压油液位的液位传感器等。
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