进口真空泵配件 轴封

① 液体喷发真空泵：以液体（通常为水）为作业介质的喷发真空泵。

② 气体喷发真空泵：以非可凝性气体作为作业介质的喷发真空泵。

③ 蒸汽喷发真空泵：以蒸汽（水、蒸汽）作为作业介质的饿喷发真空泵

（3） 懈怠泵：以低压高速蒸汽流（等蒸汽）作为作业介质的喷发真空泵。气体分子懈怠到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度一向是很低的，真空泵，这种泵适于在分子流状况下作业。可分为：

真空蒸镀

在真空环境中，进口空调真空泵，将资料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，超高真空真空泵，或叫真空镀膜。

真空单调

运用真空环境下沸点低的特征来单调物品的办法。

真空体系常用称谓

①主泵：在真空体系中，用于取得所需要真空度来满意特定技能恳求的真空泵，如真空镀膜机中的油懈怠泵即是主泵。

②前级泵：用于坚持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前装备的旋片或滑阀泵即是前级泵。

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