等离子清洗机　常压

    晟鼎精密VDR-P02 是一款单磁旋转喷头等离子表面处理机，体积小，重量轻，价格实惠，等离子清洗机联系方式，受到广大客户的一致推荐。

    玻璃基板：使用氧和氩等离子体，对其表面进行轰击，可祛除表面污染物，使工件亲水性大大提高。清洗后，其水滴夹角小于5度，为下道工序的良好进行奠定基础。

     阳极表面改性：采用氧气等离子体对ITO阳极进行表面改性，可有效优化其表面化学组成，大大降低方块电阻。从而有效提高能量转换效率，改善器件的光伏性能

     涂保护膜前处理：硅表面非常光亮，会反射掉大量的太阳光。因此，等离子清洗机　常压，在其上沉积一层反射系数非常小的氮化硅保护膜是非常必要的。通过采用氧和氩等离子体处理，可活化硅表面，大大提供其表面附着力。

   金属氧化物的祛除

化学清洗:表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE。

例：O2＋e－→ 2O※ +e－     O※＋有机物→CO2+H2O

从反应式可见，氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。

   例：H2+e-→2H※+e-      H※+非挥发性金属氧化物→金属＋H2O

从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面。

物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。

例：Ar＋e-→Ar++2e-       Ar++沾污→挥发性沾污

Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表面能活化。

等离子清洗机形成装置及影响因素

   选择适宜的放电方式可获得不同性质和应用特点的等离子体，通常，热等离子体是气体在大气压下电晕放电产生，冷等离子体由低压气体辉光放电形成?

   热离子体装置是利用带电体尖端(如刀状或针状尖端和狭缝式电极)造成不均匀电场，称电晕放电，使用电压和频率?电极间距?处理温度和时间对电晕处理效果都有影响?电压升高?电源频率增大，则处理强度大，处理效果好?但电源频率过高或电极间隙太宽，会引起电极间过多的离子碰撞，等离子等离子清洗机使用方法，造成不必要的能量损耗;而电极间距太小，等离子清洗机，会有感应损失，也有能量损耗?处理温度较高时，表面特性的变化较快?处理时间延长，极性基团会增多;但时间过长，表面则可能产生分解物，形成新的弱界面层?

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