vc150里其乐真空泵

里其乐真空泵Denver Rietschle

超高真空机组工作在10-6~10-8Pa超高真空压力范围，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外，vc150里其乐真空泵，对机组的要求还有：

1，主泵的极限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上；

2，在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速；

3，机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃高温烘烤；

4，来自主泵的返流气体（包括工作液蒸汽及解析的气体）的分压力要足够低；

5，rietschle里其乐真空泵，对被抽气体选择性强的主泵，vc303里其乐真空泵，要配备足够大的辅助泵；

6，里其乐真空泵，机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件，材料的选择和密封要特别慎重，一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属圈密封。

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