真空电镀机

靶的优化设计主要有靶结构尺寸优化、磁场优化、减小边缘效应

影响。

员猿郾 圆郾 圆郾 员摇 矩形靶的尺寸设计

从理论上讲，磁控溅射靶是一个线源。所以，如果靶的长度与宽度的

比例越大，真空电镀机工厂，其溅射均匀区越长。可是，真空电镀机报价，由于靶的溅射轨迹必须是一个封闭

的曲线，不可能是一根直线，所以，洛阳真空电镀机，矩形靶的端部效应是不可能避免的。

考虑到靶端部边缘效应（“回形”）区域的溅射率低，所以靶的有效溅

射长度一定要大于基片镀膜区域长度。另外，由于靶越宽，其端部“回形”

区域越大（见图员猿鄄怨）。在达到一定的均匀性前提下，靶的设计长度将会

随着靶的宽度发生变化。狭窄的靶有较小的端部“回形”区域和比较长的

线性均匀溅射区域，所以，靶越宽，真空电镀机采购，其设计的靶总长度应越大。

在工作气体压力大于员郾 猿猿 孕葬 或靶材溅射粒子的动能减至工作气体

的热平衡能量以下时，靶材粒子以扩散运动为主，这对于大面积溅射镀

膜来说具有重要意义。因为在实际生产中，磁控溅射镀膜的工作气体压

力范围一般在园郾 员 耀员园 孕葬，对于基片单侧进行镀膜的工艺，靶材粒子会

沉积到基片上不需要镀膜的一侧，或者在不同靶材的多靶共溅射时，不

同靶材粒子相互沉积到各靶表面，即出现“绕射”现象。这会带来膜层的

污染问题，也会使沉积的薄膜均匀性发生改变。

真空电镀机采购_佛欣真空_洛阳真空电镀机由佛山市佛欣真空技术有限公司提供。佛山市佛欣真空技术有限公司（www.foxinzk.cn）优质的服务和产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是全网商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！