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无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，四川无尘室无尘车间，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

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当前有的IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室，采用FFU系统，带ULPA(99.9995%，无尘室无尘车间费用，0.12μm)，出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，无尘室无尘车间价格，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s;ISO6级或5级(非单向流);换气次数>200次/h;ISO7级：换气次数20～200次/h;ISO8级：换气次数2～20次/h;

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