中频磁控镀膜机价格

利用上述效应改变阳极附近的放电条件，中频磁控镀膜机工厂，控制各个小阳极的开关时

间，改变电阻或在阳极电路中加载附加电流来控制阳极电流以实现优化

设计。对于带有多阳极的系统，可以通过阳极的电位控制来改变沉积速

率的分布，例如，在多个小尺寸阳极上加载电压。还可以利用优化阳极

尺寸和位置效应来控制薄膜的均匀性。

（缘）溅射粒子的能量与工作气体压力的影响。带有能量的被溅射原

子与工作气体的相互作用对薄膜的生长、结构和均匀性有很大的影响。

在大型镀膜设备中，溅射粒子的行程通常大于其平均自由程，故在粒子

输运过程中工作气体对其的散射效应不能忽略。

对于矩形磁控靶，优化靶端部磁体结构布置，使端部磁场强度尽量接

近靶直道部分的磁场强度，减少靶端部边缘“回形”区域的影响；扩展靶宽

度方向磁场或保证靶长宽比在源 以上，都是改善膜厚分布的有效措施。

对于同轴圆柱形溅射靶，采用相对于靶面位置为移动的磁体，中频磁控镀膜机厂，亦可

改善磁场分布，达到改善膜厚均匀分布的目的。另外，在同轴圆柱磁控

靶设计中，中频磁控镀膜机价格，以长条封闭磁场代替环状磁场，中频磁控镀膜机，增加靶长度方向的尺寸以改

善端部效应，也都可以改善膜厚均匀性，详细内容可见员圆 章。

中频磁控镀膜机厂|佛欣真空|中频磁控镀膜机由佛山市佛欣真空技术有限公司提供。“真空镀膜设备,离子镀膜电源”就选佛山市佛欣真空技术有限公司（www.foxinzk.cn），公司位于：广东省佛山市南海区机场路联和丰岗工业区一路2号，多年来，佛欣真空坚持为客户提供优质的服务，联系人：洪经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。佛欣真空期待成为您的长期合作伙伴！