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- 真空镀膜设备
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商品详细描述
工件架的转速应当选择得当,旋转速度太快时,蒸发效果不好,转速太慢,工件架尚未旋转一周,蒸发材料就蒸发完毕,不能保证膜的均匀性。因此一般要根据每次蒸镀时所需的最短时间、旋转工件架的线速度及其运动过程的稳定性等方面进行综合考虑来确定工件架的最大转速。一般转速不应大于40r/min。通常超高真空蒸发镀膜机上的球面行星转动工件架的转速范围可选择为园 耀 猿远 则 辕 皂蚤灶,而且其转速应该是可调的。
离子镀是真空室中,五金件表面镀膜设备图片,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,五金件表面镀膜设备设计,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。D.M.首次提出离子镀原理,五金件表面镀膜设备厂,起工作过程是:
先将真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,深圳五金件表面镀膜设备,再接通高压电源,在蒸发源与基片之间建立一个低压气体放电的低温等离子区。基片电极接上5KV直流负高压,从而形成辉光放电阴极。辉光放电区产生的惰性气体离子进入阴极暗区被电场加速并轰击基片表面,对其进行清洗。然后进入镀膜过程,加热使镀料气化,起原子进入等离子区,与惰性气体离子及电子发生碰撞,少部分产生离化。离化后的离子及气体离子以较高能量轰击镀层表面,致使膜层质量得到改善。
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