佛山真空电镀设备生产厂家

理想的靶磁场分布应该是在整个靶面范围内的均匀分布，佛山真空电镀设备批发，尽量增强靶面范围内各处磁场的水平分量，提高其均匀性。但在经典的靶磁场结构中，不均匀分布的磁场会产生密度不均匀分布的等离子体，因而导致在靶面不同位置处的溅射速率不同和刻蚀速度不同，同时膜层沉积的均匀性也不好。显然增加靶磁场均匀性能够增加靶面刻蚀的均匀性，佛山真空电镀设备，从而延长靶的寿命，提高靶材的利用率；同时合理的电磁场分布还能够有效地提高溅射过程的稳定性。

在超高或高真空镀膜设备中，可采用磁力驱动动密封运动导入导出装置，也称磁力驱动器。在磁力驱动动密封导入导出结构中，用隔板把主动和从动部件密封隔离开，佛山真空电镀设备生产厂家，运动元件和真空室壁不相接触。工作过程中，隔板除受大气和真空的压差作用外，佛山真空电镀设备厂家，不再承受其他任何载荷，从而保证了磁连接隔板密封有较高的密封可靠性。密封隔板一般是平板形或套筒形，用非磁性材料制作，如不锈钢、黄铜、铜、玻璃、聚四氟乙烯塑料等。

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