工具超硬膜离子镀膜机厂家

理想的靶磁场分布应该是在整个靶面范围内的均匀分布，大型钛金板真空离子镀膜机，尽量增强靶面范围内各处磁场的水平分量，提高其均匀性。但在经典的靶磁场结构中，不均匀分布的磁场会产生密度不均匀分布的等离子体，丹阳离子镀膜机，因而导致在靶面不同位置处的溅射速率不同和刻蚀速度不同，同时膜层沉积的均匀性也不好。显然增加靶磁场均匀性能够增加靶面刻蚀的均匀性，从而延长靶的寿命，提高靶材的利用率；同时合理的电磁场分布还能够有效地提高溅射过程的稳定性。

溅射过程中涉及到复杂的散射过程和多种能量传递过程：首先，入射粒子与靶材原子发生弹性碰撞，入射粒子的一部分动能会传给靶材原子，某些靶材原子的动能超过由其周围存在的其它原子所形成的势垒(对于金属是5-10eV)，磁控溅射离子镀膜机厂家，从而从晶格点阵中被碰撞出来，工具超硬膜离子镀膜机厂家，产生离位原子，并进一步和附近的原子依次反复碰撞，产生碰撞级联。当这种碰撞级联到达靶材表面时，如果靠近靶材表面的原子的动能大于表面结合能(对于金属是1-6eV)，这些原子就会从靶材表面脱离从而进入真空。

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