特种气体供应

随着微电子工业的不断发展，特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大，线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级，这样，对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高，对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格，已达到ppb、ppt级，尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒，因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。特种气体指出，工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中，重金属微粒向硅的内部侵人扩散，诱发结晶缺陷，是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中，由于微粒附着在硅片处，将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。

热处理工序中，碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常，引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出，由于一旦该气体输送管道发生污染，将很难通过吹扫污染物，往往是更换掉被污染的管路，由于该系统造价昂贵，湖北特种气体，这样造成的损失将很大，因此，超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。

随着我国工业的发展和改革开放的不断深入，主要跨国气体公司都纷纷进入中国，美国空气化工、法国液化空气、德国林德、普莱克斯、日本大阳日酸、日商岩谷气体公司等已占领我国部分特气市场，尤其是电子气体市场，合资和独资的半导体集成电路企业生产工艺中所使用的电子气体被这些国外气体公司所垄断，这与半导体集成电路对气体质量、供应的特殊要求有关。

工业气体种类繁多，经常用于各种工业制造方面。而在存放和使用方面，特种气体厂家，因为都是通过压缩来处理的，所以对于它们的保障措施一定要做好。

首先在使用之前要做好检查工作，对于气瓶应该进行状况检测，包括外观、附件、使用年限和检验标志等等。在存放时，还要注意检查检验日期，特种气体价格，钢印和有效期等，工业气瓶的防震圈也是要查看的，至少保证无裂痕。

存放时，因为工业气体一般都具有、有毒等特性，所以存放场所应该有一定的防护措施，夏季要防止暴晒，室外要注意这样和遮雨，可以使用仓库。对于存放空间里的照明灯具等要具有防爆特性，电源开关和熔断器等应该设置的室外，电子特种气体，同时要安装避雷设施。

工业气体存放场所要通风、干燥，避免雨淋日晒，严禁明火和其他热源，不能有任何管线通过。

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