弧形导轨原理

环形导轨/伺服电机驱动/二次定位

以环形导轨为核心的精密环形流水线，可通过伺服电机驱动实现初定位，再通过滑座锁紧系统实现二次定位，从而实现，重复定位精度可达或超+/-0.05mm；下图为可实现二次的气缸驱动滑座锁紧系统：

为了实现，首先要确保初次定位的准确性，然后通过二次定位进行修正；能够修正，就意味着滑座在初次定位之后是可以稍微沿着导轨左右移动的；滑座和皮带/链条之间的连接，必须是弹性的，滑座稍微移动的时候，皮带/链条是不动的；如果是刚性的话，进行二次定位的时候，会导致皮带/链条和电机轴的窜动，引起伺服电机报警；

环形导轨滑座和同步带间的连接机构的设计要点

环形导轨的多个滑座，弧形导轨，通过连接结构，固定到同步带上；这种设计特点，弧形导轨公司，保证了多个工位之间的同步运行：请参考技术文章：环形流水线如何实现工位间的同步:

滑座在环形导轨上的运行轨迹，有个特点：经过圆弧段的时候，滑座的中心点，弧形导轨设计，会偏离圆弧导轨的中心线，往圆弧中心稍微靠近一点：

然而在10-9 mbar的超高真空中，同样的过程需要几个小时才能完成，弧形导轨应用，从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术，其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中，将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中（也在腔体内）；分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流，能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构：

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