净化室设计

厂商 :河南省动力机械制造厂

河南 郑州
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净化工程要操控温湿度详细有啥办法? 但是关于大多数洁净空间,泉州净化室,为了避免外界污染侵入,需求坚持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的保持通常应契合以下准则:1.洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。2.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。压力差的保持依托新风量,这个新风量要能抵偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义即是漏泄(或浸透)风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。



净化工程位置应该如何选择?一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域。二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,则应位于其频率风向上风侧,净化室定制,或全年小频率风向下风侧。三、应布置在厂区内环境清洁、ren流货流不穿越或少穿越的地段。



净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定,在满意加工技术的条件下,必选应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步,技术对温湿度的请求也越来越高,净化室设计,有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光技术中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就导致了0.24um线性膨胀,所以有必要有±0.1度的恒温,无尘净化室,一起请求湿度值通常较低,因为人出汗今后,对商品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。


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