丽水真空镀膜设备

操作程序编辑二：

a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动，离子真空镀膜设备，当指针移动至110mA时，溅射真空镀膜设备，左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。? 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

 

 

操作程序编辑六：

a. 落下钟罩。b. 开机械泵，抽3~5min，佛山真空镀膜设备，停机械泵。c. 切断供电总开关。d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。

其原理是在真空状态下，阴阳极间产生辉光放电，极间气体分子被离子化而产生带电电荷，丽水真空镀膜设备，其中正离子受阴极之负电位加速运动而撞击阴极上之靶材，将其原子等粒子溅出，此溅出之原子则沉积于阳极之基板上而形成薄膜，此物理现象即称溅镀。

 

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