微型真空泵

真空的获得方法

人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。

在真空获得技术中 微型真空泵，目前用以获得真空的技术方法有两种 全自动微型真空泵，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异 微型真空泵的选型技巧，但是，最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点，我们将在下一节中介绍。

旋片式真空泵工作原理简介

旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325～1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油等生产和科研部门。

旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

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